記“全國三八紅旗集體”中科潞安紫外光電科技公司

在充滿(mǎn)希望的三月里，中科潞安紫外光電科技公司被全國婦聯(lián)授予“全國三八紅旗集體”榮譽(yù)稱(chēng)號。該公司有女員工81名，占員工總數61%，平均年齡30歲，她們潛心致力于半導體紫外LED產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)，從事紫外LED相關(guān)核心裝備、外延、芯片等主要業(yè)務(wù)，以柔肩擔重任，獲得了這項“國字號”榮譽(yù)。

芯片制造是整個(gè)半導體行業(yè)的核心和基礎。芯片制作有50多道工序，通過(guò)清洗、光刻、蒸鍍、磨拋、劃裂以及點(diǎn)分6個(gè)工段制成。其中，光刻工藝是半導體制造中最重要的環(huán)節之一。而完成這道工藝的就是該公司光刻間和點(diǎn)分間的9名女員工。

記者走進(jìn)芯片部生產(chǎn)車(chē)間的光刻間時(shí)，看到操作員商麗起正在對來(lái)料進(jìn)行目檢。商麗起告訴記者：“在清洗站接到這些晶片后，要先在顯微鏡下抽檢是否合格，然后把通過(guò)檢查的晶片進(jìn)行烘烤，這一步可以使光刻膠的粘性更強，最終保障電極圖轉移成型后的完整度。接下來(lái)通過(guò)勻膠、曝光、顯影幾道工序，一個(gè)完整的電極圖就在晶片上顯現出來(lái)了?！?/p>

“光刻這道工藝決定了芯片尺寸大小，最終制作完成一個(gè)芯片需要經(jīng)過(guò)6-7道光刻。光刻的成本約占整個(gè)半導體制造工藝的1/3，耗費時(shí)間約占整個(gè)工藝的51～58%?？梢哉f(shuō)，光刻工藝是整個(gè)芯片制造過(guò)程中的靈魂?！痹摴竟こ處煆垥阅雀嬖V記者。

張曉娜是負責光刻車(chē)間的研發(fā)工程師，也是首批來(lái)到中科潞安的女員工。2018年公司成立時(shí)，張曉娜和4名女員工初進(jìn)光刻間，這里還是一片漆黑。光刻是一個(gè)特殊的工段，LED白光燈會(huì )對光刻膠產(chǎn)生影響，因為紫外光譜與可見(jiàn)光譜在400nm-450nm會(huì )重合，光刻膠遇紫外光會(huì )發(fā)生光敏反應，所以光刻車(chē)間急需換上含有極少紫外光的黃光照明。為了不影響進(jìn)度，她們不僅要自己調研濾光紙，而且還要自己動(dòng)手操作。那段時(shí)間，她們搬起梯子、將所有白光燈管變?yōu)辄S光燈，光刻車(chē)間便被打造成理想的黃光車(chē)間，為芯片的制造創(chuàng )造了適宜的照明環(huán)境。在二次配期間，她們每日帶著(zhù)安全帽到工地，規劃每臺機器的水、電、氣、壓縮空氣、冷卻循環(huán)水等，鉆進(jìn)高架板下面，檢查每根管路的水電氣是否安裝妥當，直到廠(chǎng)務(wù)二次配驗收結束，光刻間試車(chē)運行圓滿(mǎn)成功。這些只是光刻車(chē)間女工所解決的一部分問(wèn)題，在調試階段勻膠機出現問(wèn)題以及試生產(chǎn)階段遇到瓶頸時(shí)，她們都用一次次用行動(dòng)印證了女性群體在遇到困難時(shí)不畏艱難、勇敢向前的巾幗精神。

從芯片部出來(lái)，記者跟隨工作人員來(lái)到二樓的質(zhì)控部和封裝部。質(zhì)控部質(zhì)量工程師沈日曉告訴記者：“這是質(zhì)控部的實(shí)驗室，主要對生產(chǎn)的芯片和燈珠進(jìn)行可靠性測試。質(zhì)控部有10名員工，其中7名是女性，她們有做體系維護的，有做來(lái)料及過(guò)程、入庫、出貨檢驗的。由于我們這個(gè)部門(mén)的工作比較繁瑣，而實(shí)驗室的工序大多是手動(dòng)的，所以需要細心度和耐心度高的女性來(lái)完成。為保證數據反饋的及時(shí)性和準確性，給產(chǎn)品研發(fā)和提升提供有效的數據支撐，實(shí)驗室的工作人員經(jīng)常需要加班加點(diǎn)趕進(jìn)度?！?/p>

2019年公司開(kāi)始試生產(chǎn)運營(yíng)后，質(zhì)控部全員僅用時(shí)3個(gè)月，就完成了質(zhì)量手冊和25類(lèi)程序文件的編制，審核完善了100余份作業(yè)指導書(shū)，推動(dòng)公司順利通過(guò)國家質(zhì)量體系認證，并組織全員參加質(zhì)量培訓，為研發(fā)轉量產(chǎn)工藝導入的有序進(jìn)行提供了“質(zhì)”的保障。

從質(zhì)控部實(shí)驗室出來(lái)，就是封裝部的生產(chǎn)車(chē)間，記者看到這里有3名女員工在埋頭忙著(zhù)各自的工作?！拔覀儾坑?名操作員，其中有4名女性，3名上白班，1名上夜班。部門(mén)主要以公司自產(chǎn)的深紫外芯片為原材料進(jìn)行各種深紫外光源產(chǎn)品的生產(chǎn)，產(chǎn)品類(lèi)型完全可以滿(mǎn)足市場(chǎng)需求?！狈庋b部生產(chǎn)主管李云霞告訴記者。

此外，在中科潞安的綜合、采購、銷(xiāo)售、人事、保潔等部門(mén)，還有一批女員工默默奉獻著(zhù)自己的力量。保潔部的16名女工，每天都需要穿戴好潔凈服，“全副武裝”在高度密閉的生產(chǎn)車(chē)間進(jìn)行空氣和物表凈化作業(yè)，嚴格按照每立方米空氣中直徑≥0.5um的灰塵粒數量不超過(guò)100個(gè)的標準進(jìn)行清潔，為研發(fā)、生產(chǎn)團隊規避環(huán)境問(wèn)題的影響作出了應有貢獻。

中科潞安成立的近5年時(shí)間里，以張曉娜、王雪等為代表的女性研發(fā)團隊先后發(fā)明申報了19項知識產(chǎn)權和核心專(zhuān)利技術(shù)，創(chuàng )新芯片技術(shù)，優(yōu)化芯片制程工藝，讓深紫外LED技術(shù)日趨成熟，并參與自主研發(fā)紫外專(zhuān)用高溫MOVCD設備48片機，為產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新發(fā)展提供了核心技術(shù)保障。其中，以郭亞楠博士為首的女性核心技術(shù)骨干，牽頭編制了5項長(cháng)治地方標準，順利通過(guò)行業(yè)標準評審，填補了國內深紫外標準空白，為國內深紫外技術(shù)提供了“質(zhì)”的標準。

中科潞安的女性工程師更是秉持著(zhù)“基礎研究是科技創(chuàng )新的源頭、是所有技術(shù)問(wèn)題的‘總機關(guān)’的信念”，堅持創(chuàng )新思想、創(chuàng )新方法、創(chuàng )新制度，將深紫外技術(shù)研究應用方向與國家和人民需求緊密結合，不斷延伸深紫外技術(shù)的應用領(lǐng)域，研制出民用級、工程級等系列紫外消殺應用產(chǎn)品，守護人民的身體健康。她們始終堅持研發(fā)更多具有自主知識產(chǎn)權的芯片工藝技術(shù)，集中力量攻克深紫外技術(shù)推廣應用的重大關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，力爭在高質(zhì)量發(fā)展中開(kāi)辟新領(lǐng)域新賽道，做人無(wú)我有的開(kāi)創(chuàng )者、人有我優(yōu)的領(lǐng)跑者。

（文/圖 張京）

責任編輯：郝佳麗